Способ получения кремниевых мишеней для магнетронного распыления


				05.03.2021

Патент РФ № 2631372 «Способ получения кремниевых мишеней для магнетронного распыления»
Авторы: Брантов С.К., Борисенко Д.Н.
Приоритет: 04.04.16
Зарегистрирован: 21.09.17

Контакты

Телефон:
8(496) 52 219-82
+7 906 095 4402

Факс:
+7(496) 522 8160
8(496) 522 8160

Почтовый адрес:
ИФТТ РАН, Черноголовка, Московская обл., ул.Академика Осипьяна д.2, 142432, Россия

E-mail:
Вебмастер
Ученый секретарь

WWW:
www.issp.ac.ru

Черноголовка

rp5.ru