11.12.2017 
  

В связи с обновлением программного обеспечения сайт находится на реконструкции (некоторые страницы и сервисы могут быть недоступны)

Практикум по вакууму и вакуумной технике

Автор программы: к. ф.-м. н., Божко С.И.

Практикум включает ряд задач, выполнение которых позволит студентам освоить важные методики, использующиеся в экспериментальной физике твердого тела. Предметом изучения в практикуме дисциплины являются современные методы получения, измерения и сохранения вакуума. В системе подготовки они должна занимать существенное место, т.к. вакуум является непременным условием функционирования современных физических приборов различного назначения и вакуумных технологических установок. Для изучения дисциплины необходимы знания математики, информатики, физики, физической химии в пределах программ естественно-научного цикла дисциплин.
Работы выполняются подгруппами по 3-4 студента.
Задача лабораторного практикума - познакомить студентов с основными понятиями и идеями в этой области, с постановкой задач и подходами к их решениям. Предполагается, что пойдя этот курс и выполнив все задачи практикума, студенты смогут читать и понимать текущую научную периодику в этой области, а также легко освоят основные методики физики твердого тела.

Краткое содержание дисциплины:

1

Основные понятия кинетической теории разреженных газов. Закон распределения молекул по скоростям. Давление газа с точки зрения молекулярно кинетической теории. Закон Дальтона. Единицы давления. Процессы переноса в газах. Виды процессов переноса. Кинетические характеристики  молекулярного движения. Поперечное сечение. Средняя длина свободного пробега. Общее уравнение переноса. Теплопроводность. Взаимная и термическая диффузия.

2

Течение разреженных газов. Основное уравнение вакуумной техники. Измерение состояния в вакуумной технике. Виды течения. Проводимость элементов вакуумных систем.

3

Вакуумные свойства материалов для электронной техники. Процессы поглощения газов металлами, физическая адсорбция, миграция адсорбированных атомов по поверхности, хемосорбция, растворение, окисление, образование газовых включений, газы в металлах, стекле и керамике, обезгаживание

4

Конструктивные элементы вакуумных систем. Общие сведения, разъемные и неразъемные соединения, вентили, клапаны, вспомогательное оборудование.

5

Откачные вакуумные системы, принципы конструирования и расчета вакуумных систем, особенности вакуумных систем для электронной технологии. Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании.

6

Физические принципы работы вакуумных насосов. Вакуумные насосы и их классификация. Основные характеристики вакуумных насосов. Объемная откачка. Предварительный вакуум. Вращательные насосы. Рабочие жидкости вакуумных насосов.

7

Пароструйная откачка. Диффузионные и бустерные насосы. Рабочие жидкости для пароструйных насосов. Турбомолекулярные насосы. Ионно-сорбционная откачка. Криогенная откачка.

8

Измерение вакуума.
Классификация приборов для измерения низких давлений. Механические манометры. Тепловые и ионизационные манометры. Измерение парциальных давлений. Основные параметры масс-спектрометров. Магнитный, времяпролетный, квадрупольный и монопольный масс-спектрометры.

9

Течеискание. Требования к герметичности вакуумных систем. Вакуумметрический, галоидный, масс-спектральный методы течеискания.

10

Современные сверхвысоковакуммные технологии в науке и технике. Синтез и анализ объектов и элементов исследования.

Общая трудоемкость дисциплины: 4 зачетные единицы.

Форма промежуточной аттестации: зачет.

 

Контакты

Контакты

Телефон:
8(496) 52 219-82
+7 906 095 4402

Факс:
+7(496) 522 8160
8(496) 522 8160

Почтовый адрес:
ИФТТ РАН, Черноголовка, Московская обл., ул.Академика Осипьяна д.2, 142432, Россия

E-mail:
Вебмастер
Ученый секретарь

WWW:
www.issp.ac.ru