Зав. сектором: Дорожкин Сергей Иванович

тел.: 2-82-61, e-mail: Адрес электронной почты защищен от спам-ботов. Для просмотра адреса в вашем браузере должен быть включен Javascript.

Основные направления работы лаборатории

• изучение проблем структурирования многослойных тонкопленочных гетероструктур на основе металлов, полупроводников и диэлектриков;
• создание новых и развитие существующих технологий и методик оптической и электронной нанолитографии;
• изготовление экспериментальных тонкопленочных наноструктур.

ПОДРОБНЕЕ >>