Прибор

Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD предназначен для исследования поверхности в сверхвысоком вакууме и позволяет получить следующую информацию:

• Элементный качественный и количественный состав поверхности
• Химические состояния элементов на поверхности
• Распределения элементов на поверхности картирование
• Электронная структура валентной зоны
• Атомная структура поверхности монокристаллов

Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD представляет собой трехкамерный сверхвысоковакуумный комплекс, включающий аналитическую камеру, камеру подготовки образцов и камеру быстрого ввода образцов. В аналитической камере установлены:

• анализатор со сферическим зеркалом и концентрический полусферический анализатор
• рентгеновский источник с двойным анодом (Al, Mg) с энергиями: дублет Мg K?12=1253.6 эВ, дублет Al Kα =1486,6 эВ, и откачкой магниторазрядным насосом
• Al монохроматор Kα излучение, 15 кВ, 30мА (450Вт)
• источник ультрафиолетового излучения с энергиями 21.2 (HeI) и 40.8 эВ (HeII) c дифференциальной откачкой
• электронная пушка с электростатической оптикой, со следующими параметрами а) энергия первичного пучка Ер =500 - 10000 eV , Iр=0.5-500 нА, d=0.1-5 мкм (ОЭС, СХПЭЭ)
• нагреватель образцов
• прецизионный XYZ манипулятор
• сканирующая ионная пушка, позволяющая проводить ионную бомбардировку образцов как ионами инертных газов(Ar+, He+, Ne+), энергия ионов E=2 - 10 кэВ , I =10 - 100 mkA , диаметр ионного пучка d= 0.1-1 мм.
• нагреватель образцов

В камере подготовки образцов установлены:

• устройство хранения образцов
• дифрактометр ДМЭ-Оже