Лаборатория спектроскопии поверхности полупроводников






Оборудование

Экспериментальной базой лаборатории являются электронные спектрометры Эскалаб-5 (ДМЭ, ОЭС, РФЭС, УФЭС, СХПЭЭ) и ЛАС-3000 (ОЭС, ДМЭ, СТМ), позволяющие проведение исследований электронной и атомной структуры поверхности методами рентгеновской и ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, оже-электронной спектроскопии, дифракции медленных электронов и спектроскопии характеристических потерь энергии электронов в сверхвысоком вакууме при температурах 10-600 К, а также исследование атомной структуры поверхностей полупроводников и металлов с атомным разрешением при комнатной температуре; атомно-силовые и туннельные микроскопы, в том числе комбинированный низкотемпературный гелиевый (4.2 К) СТМ-СОМБП микроскоп; криостаты (с магнитным полем 9 и 12 Т). Напылительные системы и установки отжига в сверхвысоком вакууме.

Сверхвысоковакуумные электронные спектрометры Эскалаб-5 (ОЭС, РФЭС, УФЭС, СХПЭЭ) и ЛАС-3000 (Рибер, ДМЭ, СТМ и ОЭС) с узлом сканирования туннельного микроскопа


Электронные спектрометры Микролаб и Эскалаб СТМ-НТ (VG)- (пуско-наладка)





© Copyright ИФТТ РАН, ЛСПП, 2006-2007
 
Разработка и поддержка New Day Studio
Информационные технологии в бизнесе