РАСПРЕДЕЛЁННЫЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ
Федерального государственного бюджетного учреждения науки Института физики твердого тела Российской академии наук
О ЦЕНТРЕ
СТРУКТУРА
Группа электрохимических исследований батарей ТОТЭ
Группа времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Группа сканирующей электронной микроскопии
Группа специального рентгеноструктурного анализа
Группа электрохимических исследований мембранно-электродных блоков ТОТЭ
Группа дилатометрии
Группа электронно-ионной микроскопии и электронно-зондового анализа
Группа рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии
Группа инфракрасной и рамановской спектроскопии
Группа спектральных исследований
Группа сканирующей зондовой микроскопии
Группа оптической литографии
Группа плазмохимического травления и осаждения
Группа термогравиметрического анализа
УСЛУГИ
КОНТАКТЫ

Группа времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии


В РЦКП ИФТТ РАН для проведения измерений методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии используется масс-спектрометр TOF.SIMS 5 производства фирмы ION-TOF (Германия).
TOF.SIMS 5 предоставляет детальную информацию об элементном и молекулярном составе поверхности и приповерхностных тонких слоях образца. Информация о координатах и составе в каждой точке сохраняется, что позволяет проводить трехмерный анализ.

Основные характеристики:


  • Массовый диапазон 1-10000 а.е.м.
  • Массовое разрешение 10000 (m/dm)
  • Пространственное разрешение 60 нм
  • Глубинное разрешение менее 1 нм
  • Скорость травления до 10 мкм/ч
  • Глубина анализа менее 1 нм
  • Поле измерений от мкм2 до см2
  • Частота съемки изображения до 50 кГц

  • Свидетельство об аттестации МВИ