РАСПРЕДЕЛЁННЫЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ
Федерального государственного бюджетного учреждения науки Института физики твердого тела Российской академии наук
О ЦЕНТРЕ
СТРУКТУРА
Группа электрохимических исследований батарей ТОТЭ
Группа времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Группа сканирующей электронной микроскопии
Группа специального рентгеноструктурного анализа
Группа электрохимических исследований мембранно-электродных блоков ТОТЭ
Группа дилатометрии
Группа электронно-ионной микроскопии и электронно-зондового анализа
Группа рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии
Группа инфракрасной и рамановской спектроскопии
Группа спектральных исследований
Группа сканирующей зондовой микроскопии
Группа оптической литографии
Группа плазмохимического травления и осаждения
Группа термогравиметрического анализа
УСЛУГИ
КОНТАКТЫ

Группа плазмохимического травления и осаждения


Установки плазмо-химического травления PlasmaLab System 100 (Oxford Plasma Technology) предназначены для проведения презиционного направленного и изотропного травления материалов в атмосфере фтористой плазмы (для кремния и его соединений, включая Бош-процесс; одна установка) и хлористой плазмы (для соединений типа III-V и II-VI, металлов, оксидов; вторая установка).