РАСПРЕДЕЛЁННЫЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ
Федерального государственного бюджетного учреждения науки Института физики твердого тела Российской академии наук
О ЦЕНТРЕ
СТРУКТУРА
Группа электрохимических исследований батарей ТОТЭ
Группа времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Группа сканирующей электронной микроскопии
Группа специального рентгеноструктурного анализа
Группа электрохимических исследований мембранно-электродных блоков ТОТЭ
Группа дилатометрии
Группа электронно-ионной микроскопии и электронно-зондового анализа
Группа рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии
Группа инфракрасной и рамановской спектроскопии
Группа спектральных исследований
Группа сканирующей зондовой микроскопии
Группа оптической литографии
Группа плазмохимического травления и осаждения
Группа термогравиметрического анализа
УСЛУГИ
КОНТАКТЫ

Группа сканирующей электронной микроскопии


Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения Supra 50VP с системой микроанализа INCA Energy+ - многоцелевой высокоэффективный аналитический автоэмиссионный растровый электронный микроскоп. Комбинация электронно-оптической колонны GEMINI, гарантирующей получение изображений со сверхвысоким разрешением, и аналитического оборудования обеспечивает пользователям SUPRA 50 выдающуюся гибкость в постановке и проведении экспериментов.

Основные характеристики:

  • Пространственное разрешение: 1.0 нм при 20 кВ, 1.7 нм при 1 кВ, 3.5 нм при 0.2 кВ
  • Диапазон увеличений 12х – 900 000х в режиме вторичных электронов
  • Источник электронов: Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа). Стабильность лучше, чем 0.2% в час
  • Диапазон ускоряющих напряжений: 100 В – 30 000 В
  • Диапазон рабочих токов: 4 пА – 10 нА
  • Встроенные детекторы: In-lens SE, детектор вторичных электронов SE, ИК-камера для обзора рабочей камеры
  • Диапазон низкого вакуума (для SUPRA 50VP): 1-133 Па
  • Разрешение EDX детектора: 129 эВ на линии Ka(Mn)
  • Разрешение INCAWave детектора: 14 eV

Свидетельство об аттестации МВИ