РАСПРЕДЕЛЁННЫЙ ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ
Федерального государственного бюджетного учреждения науки Института физики твердого тела Российской академии наук
О ЦЕНТРЕ
СТРУКТУРА
Группа электрохимических исследований батарей ТОТЭ
Группа времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Группа сканирующей электронной микроскопии
Группа специального рентгеноструктурного анализа
Группа электрохимических исследований мембранно-электродных блоков ТОТЭ
Группа дилатометрии
Группа электронно-ионной микроскопии и электронно-зондового анализа
Группа рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии
Группа инфракрасной и рамановской спектроскопии
Группа спектральных исследований
Группа сканирующей зондовой микроскопии
Группа оптической литографии
Группа плазмохимического травления и осаждения
Группа термогравиметрического анализа
УСЛУГИ
КОНТАКТЫ

Группа рентгеновской фотоэлектронной спектрометрии


Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD предназначен для исследования поверхности в сверхвысоком вакууме и позволяет получить следующую информацию:
  • Элементный качественный и количественный состав поверхности
  • Химические состояния элементов на поверхности
  • Распределения элементов на поверхности картирование
  • Электронная структура валентной зоны
  • Атомная структура поверхности монокристаллов
Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD представляет собой трехкамерный сверхвысоковакуумный комплекс, включающий аналитическую камеру, камеру подготовки образцов и камеру быстрого ввода образцов. В аналитической камере установлены:
  • анализатор со сферическим зеркалом и концентрический полусферический анализатор
  • рентгеновский источник с двойным анодом (Al, Mg) с энергиями: дублет Мg K?12=1253.6 эВ, дублет Al K?12 =1486,6 эВ, и откачкой магниторазрядным насосом
  • Al монохроматор K? излучение, 15 кВ, 30мА (450Вт)
  • источник ультрафиолетового излучения с энергиями 21.2 (HeI) и 40.8 эВ (HeII) c дифференциальной откачкой
  • электронная пушка с электростатической оптикой, со следующими параметрами а) энергия первичного пучка Ер =500 - 10000 eV , Iр=0.5-500 нА, d=0.1-5 мкм (ОЭС, СХПЭЭ)
  • нагреватель образцов
  • прецизионный XYZ манипулятор
  • сканирующая ионная пушка, позволяющая проводить ионную бомбардировку образцов как ионами инертных газов(Ar+, He+, Ne+), энергия ионов E=2 - 10 кэВ , I =10 - 100 mkA , диаметр ионного пучка d= 0.1-1 мм.
  • нагреватель образцов
В камере подготовки образцов установлены:
  • устройство хранения образцов
  • дифрактометр ДМЭ-Оже

Основные характеристики:

  • Элементная чувствительность – 0.1 ат.%;
  • Минимальная область РФЭС анализа – 15х15 мкм2;
  • Максимальная область РФЭС анализа – 300х700 мкм2;
  • Глубина анализа – до 3 нм;
  • Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности образца в методе РФЭС – 5 мкм;
  • Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности образца в ОЖЕ-спектроскопии – 100 нм;
  • Пространственное разрешение метода СЭМ – 100 нм;
  • Возможность компенсации поверхностного заряда при проведении исследования поверхности высокоомных образцов;
  • Возможность очистки поверхности методом травления поверхности ионами аргона;
  • Температурный режим исследований: -100oC ? +600oC;

Свидетельство об утверждении типа средств измерений